三维干涉轮廓仪
发布时间：2018-09-11 发布者： 浏览次数：
| 仪器名称 | 三维干涉轮廓仪 | | 仪器型号 | GTK | | 生产厂家 | 美国BRUKER公司 | | 技术参数 | l 最大直径：6英寸；l 采用双光源技术：绿光和白光LED；l Z方向扫描范围：测量范围0.1nm至 10mm；分辨率<0 .1nm；l RMS重复率：0.01nml 垂直扫描速度：最高扫描速度28um/秒；横向采样间隔：0.1um至13.2um；l 具有自动载物台；l 具有较高的光学分辨率,最小可达0.49um;l 设备具有较大的视野范围，并能够通过扩展进一步扩展范围：l 测试的台阶高度具有0.8%精确度，1σ重现性0.1%; |
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